电子级超纯水

多介质过滤：去除水中的悬浮颗粒、泥沙等杂质。

活性炭过滤：吸附水中的有机物、余氯等。

软化处理：去除水中的钙、镁等离子，防止在后续处理过程中产生水垢。

通过半透膜的压力驱动分离过程，去除水中的大部分离子、有机物和微生物等。RO 系统能使水的纯度大大提高，通常可将原水的电阻率提高到 1-10MΩ・cm。

采用强酸性阳离子交换树脂去除水中的阳离子，如钠离子、钙离子等；采用强碱性阴离子交换树脂去除水中的阴离子，如氯离子、硫酸根离子等。离子交换过程可以进一步提高水的纯度，使电阻率达到 10-15MΩ・cm。

利用超滤膜过滤，去除水中的大分子有机物、胶体、细菌等杂质，确保超纯水的微生物含量极低。

通过紫外线照射，破坏水中微生物的 DNA，达到杀菌消毒的目的，防止微生物在超纯水中滋生。

通常采用微孔过滤器（如 0.22μm 或 0.1μm 的滤芯）进行最后的过滤，确保超纯水在输送和使用过程中不被颗粒污染。

在半导体芯片制造过程中，超纯水用于清洗硅片、光刻、蚀刻、扩散等工艺环节。高纯度的水可以避免杂质对芯片性能的影响，确保芯片的质量和可靠性。例如，在光刻过程中，微小的杂质颗粒可能会导致图案缺陷，影响芯片的集成度和性能。

用于清洗液晶面板和制造过程中的各种部件。超纯水可以保证液晶面板的表面质量，防止出现斑点、划痕等缺陷。同时，在 LCD 制造过程中，超纯水还用于稀释和调配各种化学试剂。

在太阳能电池的制造过程中，超纯水用于清洗硅片、制备导电浆料等环节。高纯度的水可以提高太阳能电池的转换效率和稳定性。

如电容器、电阻器、印刷电路板等的制造过程中，超纯水用于清洗和冲洗工艺，以去除杂质和残留物，保证电子元器件的性能和可靠性。

安装电阻率检测仪、TOC 分析仪、颗粒计数器等在线监测设备，实时监测超纯水的纯度指标。一旦发现指标异常，立即采取相应的措施进行调整。

按照一定的频率对超纯水进行全面的检测，包括电阻率、TOC、细菌含量、颗粒计数等指标。同时，还需要对制备系统中的各个环节进行检测，确保系统的正常运行和超纯水的质量稳定。

定期对超纯水制备系统进行维护和保养，包括更换滤芯、清洗膜组件、消毒系统等。同时，要对系统进行性能评估，及时发现和解决潜在的问题。

随着电子工业的不断发展，对超纯水的纯度要求越来越高。未来，超纯水的电阻率、TOC 含量等指标将进一步降低，以满足更高端电子器件的制造需求。

研发更加节能环保的超纯水制备技术，减少对环境的影响。例如，采用新型的膜材料和分离技术，提高水的回收率，降低能源消耗。

开发智能化的超纯水制备控制系统，实现自动化监测、控制和优化。通过大数据分析和人工智能技术，预测系统的运行状态和水质变化，提前采取措施进行调整，提高系统的稳定性和可靠性。